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壓力傳感器中常見的MEMS技術(shù)

  壓力傳感器用于工業(yè)市場(chǎng)的各種應(yīng)用。技術(shù)的不斷進(jìn)步使這些傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)新的應(yīng)用,而不僅僅是在流體壓力檢測(cè)等傳統(tǒng)應(yīng)用中的使用?,F(xiàn)在,新型低功耗傳感器技術(shù)的出現(xiàn)使更小的尺寸、更多的功能、更實(shí)惠、應(yīng)用更廣的傳感器可以被人應(yīng)用到物聯(lián)網(wǎng)等新型產(chǎn)業(yè)中。


  其中微機(jī)電傳感器(MEMS)技術(shù)被許多現(xiàn)代壓力傳感器廣泛使用。它可以被應(yīng)用到水罐的水位檢測(cè)。該系統(tǒng)在許多設(shè)備中都很常見,例如洗衣機(jī)、呼吸設(shè)備、咖啡機(jī)等。 這種MEMS傳感器方法特別適用于需要自動(dòng)化測(cè)量的物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備。當(dāng)液體難以接近,而無法使用量油尺或目視浮標(biāo)進(jìn)行測(cè)量的應(yīng)用就非常適合這些傳感器。 MEMS壓力傳感器使用單個(gè)絕dui(大氣壓)壓力傳感器檢測(cè)水位,通過插入流體中的管子連接到傳感器,且MEMS傳感器必須位于被測(cè)流體的上方。 液體部分填充管道,用液體代替空氣,迫使空氣流向壓力傳感器。傳感器不需要接觸液體并通過管中的空氣壓力來測(cè)量它。理論上它與容易中的液體量有關(guān),容器中的液體越多,那么管中的壓力就越高。

  此外,壓力傳感器也可以用于無人機(jī)或機(jī)器人。無人機(jī)可以通過測(cè)量氣壓等方式來測(cè)量高度,由于現(xiàn)代傳感器的高精度性和抗振性,一般精度可達(dá)到幾厘米。在飛機(jī)起飛降落時(shí)傳感器可以遠(yuǎn)程信息處理,例如當(dāng)機(jī)艙門關(guān)閉時(shí),飛機(jī)內(nèi)瞬時(shí)壓力變化可以被檢測(cè)。(德魯克大氣數(shù)據(jù)測(cè)試儀作為一款可以測(cè)量空速、空壓的壓力傳感器,它可以被應(yīng)用在飛機(jī)上且精度高、性能強(qiáng)大)